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溅射电源

真空等离子清洗电源

真空等离子清洗电源

真空等离子清洗电源是用于驱动真空等离子清洗设备的电源系统。真空等离子清洗是一种表面处理技术,通过在真空环境中产生等离子体来清洗和改性材料表面。

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产品详情

真空等离子清洗电源是用于驱动真空等离子清洗设备的电源系统。真空等离子清洗是一种表面处理技术,通过在真空环境中产生等离子体来清洗和改性材料表面。

真空等离子清洗电源的设计通常包括以下几个方面:

1. 射频发生器:产生用于激发等离子体的射频电源信号。

2. 电源调节器:用于调节并稳定射频电源信号,以确保其符合等离子清洗设备的要求。

3. 等离子体控制系统:用于监测和调节等离子体密度、温度和其他参数,以确保清洗过程的稳定性和效果。

真空等离子清洗电源对于清洗过程的稳定性和清洗效果至关重要。它们需要提供稳定的射频电源信号,并确保对等离子体参数的精确控制,以实现所需的清洗效果和表面改性。

此电源可以代替射频电源用于真空等离子清洗,也可以用于高气压的溅射镀膜

特点 :

体积小,重量轻,结构简单,操作简单,稳定可靠

电路采用模块化设计,调试维修方便。


真空清洗电源,不易产生电弧,负载适应范围宽

适用范围

输出电压偏低,输出电流大,如果用于磁控溅射,适用于真空气压较高,工作电压较低的场合

备注:

出厂默认为TTL模拟接口和485接口

故障提示

全数控智能电源,有10多种故障检测处理系统,故障具有声音提示和中英文提醒,可以输出故障类型。


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